Keithley 源表选型指南

2026-03-16
Keithley SourceMeter® SMU 选型指南
Keithley — Tektronix

SourceMeter® SMU
源表选型指南

产品对比 · 参数速查 · 场景选型 · 应用匹配 · 迁移指南

覆盖型号:2450 / 2460 / 2461 / 2470 / 2602B / 2612B / 2636B / 2601B / 2611B / 2635B / 2651A / 2657A / 2601B-PULSE / 6430 / 6517B / 4200A-SCS

开始选型 ↓
Chapter 01

30 秒快速选型

不想看细节?直接回答三个问题,锁定型号。

Q1

你需要的最高电压是多少?

> 1100 V
2657A(3000 V)
200 – 1100 V
2470
≤ 200 V
→ 继续 Q2 ↓
Q2

你需要的最大电流是多少?

> 10 A
2651A(50 A)
1 – 7 A
2460 / 2461
≤ 1 A
→ 继续 Q3 ↓
Q3

你的使用场景是什么?

实验室研发
2450
产线多通道
2602B / 2612B / 2636B
脉冲测试
2461 / 2601B-PULSE
极低电流
2636B / 6430

如果你还是不确定,买 2450。它是触摸屏系列的基准型号,200V / 1A / 20W 覆盖 80% 以上的常规场景。


Full Lineup

全系列产品一览表

型号通道最大电压最大电流DC功率最低电流显示屏编程一句话定位
24501±200 V±1 A20 W10 nA5" 触摸屏SCPI+TSP通用基准型,最低量程最优
24601±100 V±7 A100 W10 nA5" 触摸屏SCPI+TSP大电流型,电池/LED/太阳能
24611±100 V±10 A 脉冲1000 W 脉冲10 nA5" 触摸屏SCPI+TSP大电流+数字化仪+脉冲
24701±1100 V±1 A20 W10 nA5" 触摸屏SCPI+TSP高压型,击穿/漏电流专用
2602B2±40 V±3 A/ch40 W/ch100 nAVFDTSP低压双通道,LED产线首选
2612B2±200 V±1.5 A/ch30 W/ch100 nAVFDTSP200V双通道,产线通用型
2636B2±200 V±1.5 A/ch30 W/ch0.1 fAVFDTSP极低电流双通道,IDDQ专用
2651A1±40 V±50 A200 W100 nAVFDTSP极限大电流,IGBT/功率模块
2657A1±3000 V±120 mA180 W1 nAVFDTSP极限高压,SiC/GaN击穿
2601B-PULSE1±40 V±10 A 脉冲200 W 脉冲100 nAVFDTSP10µs脉冲,VCSEL/激光管
64301±210 V±105 mA2.2 W1 aAVFDSCPI亚飞安级远程前放
6517B1±1 kV 源20 mA 测10 aAVFDSCPI静电计+高阻计,10¹⁸Ω

⚠️ 2634B 缺少 TSP-Link 和 Digital I/O,无法参与多机联网,本指南推荐用 2636B 替代。


Chapter 02

2400 Graphical 触摸屏系列

第四代 SMU 平台,共享 5" 触摸屏、TriggerFlow 触发系统、SCPI/TSP 双编程、GPIB/USB/LAN/TSP-Link 全接口。实验室首选。

四型号核心参数对比

参数2450246024612470
最大电压±210 V±105 V±105 V±1100 V
最大电流 DC±1.05 A±7.35 A±7.35 A±1.05 A
最大电流 脉冲±10.5 A
最大功率 DC20 W100 W105 W20 W
最大功率 脉冲1050 W
最低电压量程20 mV20 mV20 mV200 mV
基本精度0.012%0.012%0.012%0.012%
数字化仪双 1MS/s 18-bit
后面板接口Triax螺丝端子螺丝端子HV Triax
参考价格~$7,880~$12,100~$13,700~$13,700

2450 独有 20 mV 最低电压量程(需后面板 Triax),是纳米材料、有机半导体等微弱信号场景的最佳选择。

2461 是唯一带双高速数字化仪的触摸屏型号,可在脉冲期间同时捕捉电压和电流波形,免去额外示波器。


Chapter 03

2600B 系统系列

第三代 SMU,TSP 脚本核心,内嵌执行测试程序无需 PC,读取速度 20,000 次/秒,产线自动化行业标准。双通道型号内置两个完全隔离的 SMU,TSP-Link 最多 64 通道联网。

核心型号对比

型号通道电压DC电流脉冲电流DC功率最低电流电流分辨率定位
2601B1±40 V±3 A±10 A40 W100 nA100 fA低压单通道
2602B2±40 V±3 A/ch±10 A/ch40 W/ch100 nA100 fA低压双通道,LED产线首选
2611B1±200 V±1.5 A±10 A30 W100 nA100 fA200V单通道
2612B2±200 V±1.5 A/ch±10 A/ch30 W/ch100 nA100 fA200V双通道,产线通用型
2635B1±200 V±1.5 A±10 A30 W100 pA0.1 fA极低电流单通道
2636B2±200 V±1.5 A/ch±10 A/ch30 W/ch100 pA0.1 fA极低电流双通道,IDDQ

⚠️ 2636B/2635B 的 0.1 fA (10⁻¹⁶ A) 分辨率比 2612B/2602B 的 100 fA 高出 1000 倍,是 IDDQ / 漏电流筛选的唯一选择。

2400 Graphical vs 2600B 怎么选?

对比项2400 Graphical2600B
操作界面5" 触摸屏,图形化 GUIVFD 显示屏 + 按键
通道数单通道单/双通道
编程SCPI(原生)+ TSPTSP(原生)+ SCPI 模拟
读取速度3,000 次/秒20,000 次/秒(7×)
脉冲仅 2461 支持全系列 10A 脉冲,100 µs
多机联网TSP-Link × 32TSP-Link × 64 通道
典型用户研发、实验室、教学产线自动化、大规模测试

✅ 简单说:研发实验室买触摸屏系列,产线自动化买 2600B。两者 TSP-Link 可互联。


Chapter 04

高功率与特殊场景型号

极限功率:2651A vs 2657A

2651A
最大电压±40 V
最大电流 DC±20 A
最大电流 脉冲±50 A
DC 功率200 W
脉冲功率2000 W
并联扩展×2 可达 100 A
参考价格~$26,000
2657A
最大电压±3000 V
最大电流 DC±120 mA
最大电流 脉冲
DC 功率180 W
脉冲功率
数字化仪双 18-bit 1MS/s
参考价格~$17,335

⚠️ 2657A 的 180W 功率包线在 DC 和脉冲模式下相同(无脉冲增强),而 2651A 脉冲功率是 DC 的 10 倍

2601B-PULSE:10 微秒脉冲专属

在标准 2601B 基础上增加 PulseMeter™ 脉冲器,可在 10 µs 脉宽下输出 10 A @ 10 V,上升时间 <1.7 µs,无需调谐电感负载(≤ 3 µH)。配合双 1 MS/s ADC 实时捕捉脉冲波形。

主要用于 VCSEL、激光二极管 LIV 测试和脉冲热表征。参考价 ~$10,000–$13,000。

特殊场景型号

型号定位电压电流价格典型场景
6430亚飞安 SMU±210 V±105 mA~$22,300纳米器件、光电流、绝缘电阻
6517B静电计±1 kV 源±20 mA 测~$14,000高阻测量(10¹⁸Ω)、介质材料
4200A-SCS参数分析仪±210 V±1 A~$52K+半导体全参数表征,IV/CV/脉冲

✅ 6430 通过远程前放将最敏感的反馈电路置于 DUT 旁边,实现 <400 aA 峰-峰噪声,远超任何独立 SMU。


Chapter 05

应用场景 → 型号对照表

找到你的应用,直接看推荐型号。

二极管 / LED I-V 曲线2450200V/1A 覆盖绝大多数二极管
MOSFET Rds(on) / 转移特性24607A DC 可充分导通功率器件
SiC/GaN 功率半导体脉冲表征246110A 脉冲避免自热效应
SiC/GaN 击穿电压测试2470 / 2657A1100V 或 3000V,视电压需求
太阳能电池 I-V2450 / 2460小电池 2450;大面积用 2460
电池充放测试2460四象限吸收能量;大电流快充
纳米材料 / 有机半导体245010nA/20mV + Triax 低噪声
亚飞安级极微电流6430远程前放,1 aA 分辨率
绝缘电阻 / 高阻测试6517B / 24506517B: 10¹⁸Ω;2450: 普通高阻
IDDQ / 待机漏电流 (产线)2636B双通道 + 0.1fA 灵敏度
LED 产线大规模测试2602B双通道 40V/3A,TSP 吞量最快
VCSEL / 激光管 LIV 脉冲测试2601B-PULSE10µs 脉冲,无需调谐电感
IGBT / 功率模块 50A 级2651A50A/2000W 脉冲,可并联 100A
耐压测试 > 1100V2657A3000V/120mA + 8010 安全夹具
全参数 IV/CV/脉冲表征4200A-SCS模块化参数分析仪,450+ 内置测试

Chapter 06

老型号迁移指南

旧款 2400 Standard 系列的官方推荐升级路径。注意:2420 和 2440 已于 2022 年停产。

2400/2401
2450
基础型

触摸屏 + 更低量程 (10nA vs 1µA) + 5× 缓冲区 + SCPI 2400 兼容模式可直接迁移代码

2410
2470
高压型

1100V → 1100V,增加触摸屏 / TriggerFlow / SCPI 2410 兼容

2420/2440
2460/2461
大电流型

7A DC → 7A DC,新增脉冲 10A / 1000W,SCPI 2420 兼容模式。已停产,建议尽快迁移。

✅ 2450 的 SCPI 命令集包含 :SOUR2400: 前缀的 2400 兼容模式,旧代码可直接迁移无需修改。


Chapter 07

接口与软件生态

通信接口对比

接口2400 Graphical2600B2650 High PowerLegacy 2400
GPIB
USB 2.0
Ethernet / LXI
RS-232
TSP-Link
Digital I/O6-bit14-bit14-bitHandler
读取速度3,000/s20,000/s20,000/s2,000/s

软件生态

免费
KickStart
图形化 I-V 扫描、电池模拟;支持触摸屏系列,无需编程
免费
Test Script Builder
TSP Lua 脚本开发调试环境(TSP IDE)
免费
ACS Basic Edition
参数化测试软件,支持多 SMU 协同
开源
PyVISA + NI-VISA
Python 编程控制,最灵活的自动化方案
内置
Clarius+ (4200A-SCS)
半导体参数分析器专用,450+ 内置测试模板

参考资料:Tektronix / Keithley 官方 Datasheet、Selector Guide 及规格书 | 内部技术参考文档

Keithley SourceMeter® SMU 选型指南