Coherent Monaco 517 绿光工业飞秒激光器

Monaco 517 是 Coherent 面向工业应用的绿光飞秒激光器,采用 MOPA 架构,重点针对铜、聚合物等对绿光吸收更优的材料加工场景,兼顾高精度、低热影响和高吞吐。
Description
Monaco 517 系列工业飞秒激光器 - 索谱光电
Industrial Femtosecond Laser

Monaco 517 系列工业飞秒激光器

517 nm 绿光工业级飞秒激光平台,采用 MOPA 架构,面向长时间连续运行的精密微加工场景。系列产品提供 20 W / 30 W 平均功率选项,标准脉宽小于 350 fs,兼顾高吞吐量、低热影响区加工与较好的材料耦合能力。
517 ±5 nm
20 W / 30 W
<350 fs
单脉冲至 >1 MHz
单箱体集成设计
Product Image
Monaco 517 系列主图
Monaco 517 系列主图预留区
建议替换为设备正视图或 3D 渲染图
Pulse Energy
40 μJ
750 kHz 下最高脉冲能量
Throughput
30 W
高吞吐量绿光飞秒加工
Beam Quality
TEM00
M² < 1.2,适合精细微加工
Reliability
24/7
面向工业连续运行环境
Architecture
MOPA 工业平台
采用 MOPA 架构,二倍频级集成在激光器箱体内部,减少外围复杂度,便于系统集成与工业现场部署。
Wavelength
517 nm 绿光优势
对铜、聚合物、陶瓷等材料具有更好的耦合效果,同时可获得更小光斑与更优景深表现,适合精密加工。
Pulse
低热影响区加工
标准脉宽小于 350 fs,在薄膜、柔性电路、晶圆切割等场景中有利于降低热损伤并提升边缘质量。
Integration
单箱体易集成
紧凑型单箱体设计可降低设备集成难度,适用于自动化产线、微加工平台与高可靠性加工系统。
Model Comparison

型号对比

参数Monaco 517-20-20Monaco 517-40-30
中心波长517 ±5 nm517 ±5 nm
输出功率20 W30 W
脉冲能量20 μJ(1 MHz)40 μJ(750 kHz)
重复频率单脉冲至最大重复频率;官网总览页给出单脉冲至 >1 MHz
标准脉宽<350 fs
调谐范围脉宽范围可出厂优化
空间模式TEM00,M² < 1.2
偏振比>100:1
通信接口RS-232 / Ethernet / USB
Specifications

核心技术参数

光束发散角<1 mrad(2θ)输出光束直径2.0 ±0.2 mm(1/e²,距输出窗 1 m 处测量)
光束圆度>85%偏振方向垂直 ±3°
指向稳定性<25 μrad/°C;长期稳定性 ±25 μrad / 8 小时脉冲能量稳定性RMS <1.5%
功率稳定性RMS <1.5%(2 s)预热时间冷启动 <45 min;热启动 <15 min
机头重量50 kg典型功耗48 VDC,<500 W;可选 110–240 VAC 电源
Operating Range
工作环境
激光头:+10 ~ +30°C
电源:-20 ~ +60°C
存储:5 ~ 65°C
相对湿度:<90%,无冷凝
运输温度:-20 ~ +60°C
Applications
典型应用
聚合物切割
柔性 PCB 切割
IC 封装切割
硅晶圆分割
医疗器件制造
薄金属箔切割与纹理化
Visual Placeholders

图片与性能图预留区

设备实物图
Monaco 517 设备图 1
设备图预留区
空间模式图
Monaco 517 空间模式图
空间模式图预留区
自相关脉宽图
Monaco 517 脉宽性能图
脉宽性能图预留区
Mechanical Layout

机械尺寸信息

激光头尺寸
长:668.7 mm
宽:360.3 mm
高:180.5 mm
出光高度:41.6 mm
电源尺寸
长:377.8 mm
宽:192.1 mm
高:82.6 mm
机脚高度参考:76.2 mm
尺寸图预留区
Monaco 517 尺寸图 1
机械尺寸图预留区 01
Monaco 517 尺寸图 2
机械尺寸图预留区 02
Monaco 517 尺寸图 3
机械尺寸图预留区 03
Monaco 517 尺寸图 4
机械尺寸图预留区 04