近紫外区域
Near-Ultraviolet Region · 波长优化 355nm–620nm
M Plan Apo NUV
用于明场的近紫外校正物镜 · Near-UV Bright Field Objectives
适用机型：VMU / FS70 │ 适用于明场观察及激光加工 │ 性能针对近紫外（355nm）至可见光优化
型号 | 订货号 | N.A. | W.D. (mm) | 焦距 f (mm) | 分辨率 R (µm) | ±DOF (µm) | 视场 ø24 (mm) | 视场 1/2" (mm) | 质量 (g) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| M Plan Apo NUV 10× | 378-809-5 | 0.28 | 30.5 | 20 | 1.0 | 3.5 | 2.4 | 0.48×0.64 | 255 |
| M Plan Apo NUV 20× | 378-817-6 | 0.40 | 17.0 | 10 | 0.7 | 1.7 | 1.2 | 0.24×0.32 | 340 |
| M Plan Apo NUV 50× | 378-818-6 | 0.42 | 15.0 | 4 | 0.7 | 1.6 | 0.48 | 0.10×0.13 | 350 |
| M Plan Apo NUV 100× | 378-819-4 | 0.50 | 11.0 | 2 | 0.6 | 1.1 | 0.24 | 0.05×0.06 | 380 |
M Plan Apo NUV HR
近紫外校正物镜（高分辨率） · NUV High Resolution
适用机型：VMU / FS70 │ 更高NA值实现近紫外波段精细分辨
| 型号 | 订货号 | N.A. | W.D. (mm) | f (mm) | R (µm) | ±DOF (µm) | 视场 ø24 (mm) | 视场 1/2" (mm) | 质量 (g) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| M Plan Apo NUV HR 50× | 378-888-6 | 0.65 | 10.0 | 4 | 0.42 | 0.65 | 0.48 | 0.10×0.13 | 500 |
💡 与标准NUV 50×对比：NA从0.42提升至0.65，分辨率由0.7µm提升至0.42µm（提升40%），焦深从1.6µm收窄至0.65µm，WD维持在10.0mm。外径ø39mm。
LCD Plan Apo NUV
用于明场的近紫外校正物镜（玻璃厚度校正） · NUV Cover-Glass Compensation
适用机型：VMU / FS70 │ 适用于透过LCD玻璃的近紫外观察及激光加工
专为通过1.1mm或0.7mm玻璃观察设计 │ 可定制玻璃厚度/材质/折射率
型号 | 订货号 | 玻璃 厚度 | N.A. | W.D. (mm) | f (mm) | R (µm) | ±DOF (µm) | 视场 ø24 (mm) | 视场 1/2" (mm) | 齐焦距 (mm) | 质量 (g) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| LCD Plan Apo NUV 20× | 378-890-6 | t0.7 | 0.40 | 16.96 | 10 | 0.7 | 1.7 | 1.2 | 0.24×0.32 | 95.24 | 340 |
| LCD Plan Apo NUV 50× 定制 | 378-753-6 | t1.1 | 0.42 | 14.53 | 4 | 0.7 | 1.6 | 0.48 | 0.10×0.13 | 95.37 | 350 |
| LCD Plan Apo NUV 50× | 378-820-6 | t0.7 | 0.42 | 14.76 | 4 | 0.7 | 1.6 | 0.48 | 0.10×0.13 | 95.24 | 350 |
| LCD Plan Apo NUV 100× 定制 | 378-751-4 | t1.1 | 0.50 | 11.03 | 2 | 0.6 | 1.1 | 0.24 | 0.05×0.06 | 95.37 | 380 |
LCD Plan Apo NUV 50×（t1.1）及100×（t1.1）为定制品 │ 可根据指定的玻璃厚度、材质及折射率定制设计
LCD Plan Apo NUV HR
近紫外校正物镜（玻璃厚度校正 / 高分辨力）
适用机型：VMU / FS70 │ 兼具玻璃厚度校正与高分辨力特性
| 型号 | 订货号 | 玻璃 | N.A. | W.D. (mm) | f (mm) | R (µm) | ±DOF (µm) | 视场 ø24 | 视场 1/2" | 齐焦距 | 质量 (g) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| LCD Plan Apo NUV HR 50× | 378-891-6 | t0.7 | 0.65 | 9.76 | 4 | 0.4 | 0.7 | 0.48 | 0.10×0.13 | 95.24 | 500 |
紫外区域
Ultraviolet Region · 波长优化 266nm + 550nm
M Plan UV
用于明场的紫外校正物镜 · UV Bright Field Objectives
适用机型：VMU / FS70 │ 针对紫外（266nm）和可见光（550nm）波长优化 │ 紫外波段高透过率
型号 | 订货号 | N.A. | W.D. (mm) | f @266nm (mm) | f @550nm (mm) | R (µm) | ±DOF (µm) | 视场 ø24 (mm) | 视场 1/2" (mm) | 质量 (g) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| M Plan UV 10× | 378-844-15 | 0.25 | 20.0 | 20 | 20.3 | 1.1 | 4.4 | 2.4 | 0.48×0.64 | 310 |
| M Plan UV 20× | 378-837-7 | 0.36 | 15.0 | 10 | 10.4 | 0.8 | 2.1 | 1.2 | 0.24×0.32 | 330 |
| M Plan UV 50× | 378-838-8 | 0.41 | 12.0 | 4 | 4.5 | 0.7 | 1.6 | 0.48 | 0.10×0.13 | 400 |
| M Plan UV 80× | 378-839-5 | 0.55 | 10.0 | 2.5 | 2.9 | 0.5 | 0.9 | 0.3 | 0.06×0.08 | 380 |
⚠ 在三丰显微镜单元上使用YAG激光系统投射掩模图像时，掩模图像将按 f/200 倍缩放（f=200mm管镜）。
由于紫外辐射（λ=266nm）下焦距略小于可见光（λ=550nm），紫外下的加工区域也略小于可见光下的掩模图像。
注意：M Plan UV为「平场（Plan）」校正，非「平场复消色差（Plan Apochromat）」。
LCD Plan UV
用于明场的紫外校正物镜（玻璃厚度校正） · UV Cover-Glass Compensation
适用机型：VMU / FS70 │ 适用于透过LCD玻璃（0.7mm）的紫外观察及激光加工
可定制玻璃厚度/材质/折射率 │ 齐焦距离：95.22mm
型号 | 订货号 | 玻璃 | N.A. | W.D. (mm) | f @266nm (mm) | f @550nm (mm) | R (µm) | ±DOF (µm) | 视场 ø24 (mm) | 视场 1/2" (mm) | 质量 (g) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| LCD Plan UV 20× | 378-892-7 | t0.7 | 0.36 | 15.0 | 10 | 10.4 | 0.8 | 2.1 | 1.2 | 0.24×0.32 | 330 |
| LCD Plan UV 50× | 378-893-8 | t0.7 | 0.41 | 12.4 | 4 | 4.5 | 0.7 | 1.6 | 0.48 | 0.10×0.13 | 400 |
