Mitutoyo 近红外物镜

南京索谱光电供应Mitutoyo近红外物镜。具备高红外透射率与超长工作距离,完美适配半导体内部检测、激光修复与硅光探针台集成,欢迎咨询。
Description
Mitutoyo 近红外区域物镜产品参数总览
Mitutoyo
Catalog No. E14020
NEAR-INFRARED REGION · 近红外区域

Mitutoyo(三丰)近红外区
显微成像物镜

提供用于明场观察与激光加工的近红外校正物镜,覆盖标准 NIR、高分辨 NIR HR、长工作距离 NIR B 以及 LCD 玻璃厚度校正系列。
适用于 YAG 激光基波(1064nm)、二次谐波(532nm)、红外成像、IC 封装内部观察及透过玻璃检测等应用。

无限远校正            可见光–近红外校正            平场复消色差            
           齐焦距离 95mm

明视场观察用

Bright Field Observation · Near-Infrared

NIR

M Plan Apo NIR

明视场近红外校正物镜 · Near-IR Bright Field Objectives

无限远校正可见光–近红外(~1800nm)平场复消色差长工作距离

适用机型:VMU / FS70  │  适用于明场观察及激光加工  │  波长校正范围:可见光至近红外(1800nm)
注意:使用波长 ≥1100nm 时,焦点可能与可见光下略有偏差。

型号订货号N.A.W.D.(mm)焦距 f(mm)分辨率 R(µm)±DOF(µm)视场 ø24(mm)视场 1/2"(mm)质量(g)
M Plan Apo NIR 5×378-822-50.1437.5402.014.04.80.96×1.28220
M Plan Apo NIR 10×378-823-50.2630.5201.14.12.40.48×0.64250
M Plan Apo NIR 20×378-824-50.4020.0100.71.71.20.24×0.32300
M Plan Apo NIR 50×378-825-50.4217.040.71.60.480.10×0.13315
M Plan Apo NIR 100×378-826-50.5012.020.61.10.240.05×0.06335

分辨率及焦深基于参考波长 λ=0.55µm 计算  │  使用波长 ≥1100nm 时焦点可能与可见光下略有偏差。

NIR HR

M Plan Apo NIR HR

明视场近红外校正物镜(高分辨力) · NIR High Resolution

无限远校正近红外校正高分辨力

适用机型:VMU / FS70  │  更高 N.A. 值,实现更精细的近红外观察与激光加工  │  波长校正范围:可见光至近红外(1800nm)

型号订货号N.A.W.D.(mm)焦距 f(mm)分辨率 R(µm)±DOF(µm)视场 ø24(mm)视场 1/2"(mm)质量(g)
M Plan Apo NIR HR 50×378-863-50.6510.040.40.70.480.10×0.13450
M Plan Apo NIR HR 100×378-864-50.7010.020.40.60.240.05×0.06450

与标准 NIR 系列对比:HR 50× N.A. 从 0.42 提升至 0.65;HR 100× N.A. 从 0.50 提升至 0.70,同时 W.D. 均保持 10.0mm。

NIR B

M Plan Apo NIR B

明视场近红外校正物镜(长工作距离) · NIR Extended Working Distance

无限远校正近红外校正超长工作距离 25.5mm

适用机型:VMU / FS70  │  YAG 激光基波/二次谐波高透过率型  │  波长校正范围:420nm–1064nm
在保持 NIR 系列 20× / 50× 相同 N.A. 的前提下,实现 25.5mm 超长工作距离,便于加工和样品操作。

型号订货号N.A.W.D.(mm)焦距 f(mm)分辨率 R(µm)±DOF(µm)视场 ø24(mm)视场 1/2"(mm)质量(g)
M Plan Apo NIR B 20×378-867-50.4025.5100.71.71.20.24×0.32350
M Plan Apo NIR B 50×378-868-50.4225.540.71.60.480.10×0.13375

与标准 NIR 系列对比:NIR B 20× 工作距离从 20.0mm 提升至 25.5mm;NIR B 50× 从 17.0mm 提升至 25.5mm。外径 ø37mm。

LCD NIR

LCD Plan Apo NIR

明视场近红外校正物镜(玻璃厚度校正) · NIR with Cover-Glass Compensation

无限远校正近红外校正玻璃厚度校正超长工作距离

适用机型:VMU / FS70  │  适用于透过 LCD 玻璃的明场观察及激光加工
专为通过 1.1mm 或 0.7mm 玻璃观察而设计,可定制玻璃厚度、玻璃材质及折射率。

型号订货号玻璃厚度N.A.W.D.(mm)焦距 f(mm)R(µm)±DOF(µm)视场 ø24(mm)视场 1/2"(mm)齐焦距(mm)质量(g)
LCD Plan Apo NIR 20×378-827-5t1.10.4019.98100.71.71.20.24×0.3295.37305
LCD Plan Apo NIR 50×378-828-5t1.10.4217.133.90.71.60.480.10×0.1395.37320
LCD Plan Apo NIR 50×378-829-5t0.70.4217.263.90.71.60.480.10×0.1395.24320
LCD Plan Apo NIR 100× 定制378-752-5t1.10.5012.1320.61.10.240.05×0.0695.37335
LCD Plan Apo NIR 100×378-754-5t0.70.5011.7620.61.10.240.05×0.0695.24335

t1.1 = 适用于 1.1mm 厚玻璃  │  t0.7 = 适用于 0.7mm 厚玻璃  │  LCD Plan Apo NIR 100×(t1.1)为定制品。

LCD NIR HR

LCD Plan Apo NIR HR

明视场近红外校正物镜(玻璃厚度校正 / 高分辨力) · NIR Cover-Glass HR

无限远校正近红外校正玻璃厚度校正 t0.7高分辨力

适用机型:VMU / FS70  │  适用于透过 LCD 玻璃的明场观察及激光修复应用  │  玻璃厚度校正:t0.7mm
在 LCD Plan Apo NIR 的基础上提升 N.A.,适合需要更小光斑、更高分辨率的近红外检测与激光加工场景。

型号订货号玻璃厚度N.A.W.D.(mm)焦距 f(mm)R(µm)±DOF(µm)视场 ø24(mm)视场 1/2"(mm)齐焦距(mm)质量(g)
LCD Plan Apo NIR HR 50×378-869-5t0.70.659.6*40.40.70.480.10×0.1395.24450
LCD Plan Apo NIR HR 100×378-870-15t0.70.709.8720.40.70.240.05×0.0695.24490

* 表示空气中测得(In air)  │  玻璃厚度:t0.7mm  │  齐焦距离:95.24mm  │  分辨率与焦深基于参考波长 λ=0.55µm 计算。

LASER

激光输入上限参考(物镜端)

适用物镜:M Plan Apo NIR 系列  │  激光辐射沿光轴入射

使用波长1064nm532nm
脉冲激光上限
10ns 脉冲宽度
0.20.1
CW 激光上限0.50.25

注意:脉冲宽度缩短时,需按比例降低辐照能量密度(新脉宽/原脉宽的平方根)。安装激光器时请遵守激光安全规程,确认输出功率、光束能量密度与整机结构承载。

参考信息

典型应用

• LCD 薄膜和硅晶圆膜厚测量
• MEMS 器件内部检查/分析及 3D 评估
• IC 封装内部观察、晶圆接合空洞检测
• 红外光谱特性分析
• 飞秒激光应用
• YAG 激光切割、修复及微加工

光谱透过特性

M Plan Apo NIR 系列
波长校正范围:480nm – 1800nm
适用激光:YAG 基波(1064nm)、二次谐波(532nm)
M Plan Apo NIR B 系列
波长校正范围:420nm – 1064nm
高激光透过率型,适合 YAG 基波/二次谐波应用

系列选型对比

NIR — 标准型,兼顾观察与激光
NIR HR — 高 N.A. 高分辨,精密观察
NIR B — 超长 W.D.,激光高透过率
LCD NIR — 透过玻璃观察/加工
LCD NIR HR — 玻璃校正 + 高分辨
齐焦距离:NIR / NIR HR / NIR B = 95mm
LCD NIR:t1.1 = 95.37mm;t0.7 = 95.24mm

数据来源:Mitutoyo Catalog No. E14020 及三丰官网  │  所有分辨率与焦深参数基于参考波长 λ=0.55µm

MITUTOYO is a registered trademark of Mitutoyo Corporation. Product specifications are subject to change without notice.