Mitutoyo 近红外物镜-南京索谱光电

明视场观察用

Bright Field Observation · Near-Infrared

NIR

M Plan Apo NIR

明视场近红外校正物镜 · Near-IR Bright Field Objectives

无限远校正可见光–近红外（~1800nm）平场复消色差长工作距离

适用机型：VMU / FS70 │ 适用于明场观察及激光加工 │ 波长校正范围：可见光至近红外（1800nm）
⚠ 使用波长≥1100nm时，焦点可能与可见光下略有偏差

型号	订货号	N.A.	W.D. (mm)	焦距 f (mm)	分辨率 R (µm)	±DOF (µm)	视场 ø24 (mm)	视场 1/2" (mm)	质量 (g)
M Plan Apo NIR 5×	378-822-5	0.14	37.5	40	2.0	14.0	4.8	0.96×1.28	220
M Plan Apo NIR 10×	378-823-5	0.26	30.5	20	1.1	4.1	2.4	0.48×0.64	250
M Plan Apo NIR 20×	378-824-5	0.40	20.0	10	0.7	1.7	1.2	0.24×0.32	300
M Plan Apo NIR 50×	378-825-5	0.42	17.0	4	0.7	1.6	0.48	0.10×0.13	315
M Plan Apo NIR 100×	378-826-5	0.50	12.0	2	0.6	1.1	0.24	0.05×0.06	335

分辨率及焦深基于参考波长 λ=0.55µm 计算 │ 使用波长≥1100nm时焦点可能与可见光下略有偏差

NIR HR

M Plan Apo NIR HR

明视场近红外校正物镜（高分辨力） · NIR High Resolution

无限远校正近红外校正高分辨力

适用机型：VMU / FS70 │ 更高NA值，实现更精细的近红外观察与激光加工 │ 波长校正范围：可见光至近红外（1800nm）

型号	订货号	N.A.	W.D. (mm)	焦距 f (mm)	分辨率 R (µm)	±DOF (µm)	视场 ø24 (mm)	视场 1/2" (mm)	质量 (g)
M Plan Apo NIR HR 50×	378-863-5	0.65	10.0	4	0.4	0.7	0.48	0.10×0.13	450
M Plan Apo NIR HR 100×	378-864-5	0.70	10.0	2	0.4	0.6	0.24	0.05×0.06	450

型号

订货号

N.A.

W.D.
(mm)

焦距 f
(mm)

分辨率 R
(µm)

±DOF
(µm)

视场 ø24
(mm)

视场 1/2"
(mm)

质量
(g)

M Plan Apo NIR HR 50×

378-863-5

0.65

10.0

0.4

0.7

0.48

0.10×0.13

450

M Plan Apo NIR HR 100×

378-864-5

0.70

10.0

0.4

0.6

0.24

0.05×0.06

450

💡 与标准NIR系列对比：HR 50× NA从0.42提升至0.65（分辨率提升35%），HR 100× NA从0.50提升至0.70（分辨率提升30%），同时WD均维持在10mm的优异水平。

NIR B

M Plan Apo NIR B

明视场近红外校正物镜（长工作距离） · NIR Extended Working Distance

无限远校正近红外校正超长工作距离 25.5mm

适用机型：VMU / FS70 │ YAG激光基波/二次谐波高透过率型 │ 波长校正范围：420nm–1064nm
在保持NIR系列20×/50×相同NA的前提下，实现了25.5mm的超长工作距离，大幅提升操作性

型号	订货号	N.A.	W.D. (mm)	焦距 f (mm)	分辨率 R (µm)	±DOF (µm)	视场 ø24 (mm)	视场 1/2" (mm)	质量 (g)
M Plan Apo NIR B 20×	378-867-5	0.40	25.5	10	0.7	1.7	1.2	0.24×0.32	350
M Plan Apo NIR B 50×	378-868-5	0.42	25.5	4	0.7	1.6	0.48	0.10×0.13	375

型号

订货号

N.A.

W.D.
(mm)

焦距 f
(mm)

分辨率 R
(µm)

±DOF
(µm)

视场 ø24
(mm)

视场 1/2"
(mm)

质量
(g)

M Plan Apo NIR B 20×

378-867-5

0.40

25.5

0.7

1.7

1.2

0.24×0.32

350

M Plan Apo NIR B 50×

378-868-5

0.42

25.5

0.7

1.6

0.48

0.10×0.13

375

💡 与标准NIR系列对比：NIR B 20× 工作距离从20.0mm提升至25.5mm（+27.5%），NIR B 50× 从17.0mm提升至25.5mm（+50%），NA保持不变。外径ø37mm。

LCD NIR

LCD Plan Apo NIR

明视场近红外校正物镜（玻璃厚度校正） · NIR with Cover-Glass Compensation

无限远校正近红外校正玻璃厚度校正超长工作距离

适用机型：VMU / FS70 │ 适用于透过LCD玻璃的明场观察及激光加工
专为通过1.1mm或0.7mm玻璃观察而设计 │ 可定制玻璃厚度/材质/折射率

型号	订货号	玻璃厚度	N.A.	W.D. (mm)	焦距 f (mm)	R (µm)	±DOF (µm)	视场 ø24 (mm)	视场 1/2" (mm)	齐焦距 (mm)	质量 (g)
LCD Plan Apo NIR 20×	378-827-5	t1.1	0.40	19.98	10	0.7	1.7	1.2	0.24×0.32	95.37	305
LCD Plan Apo NIR 50×	378-828-5	t1.1	0.42	17.13	3.9	0.7	1.6	0.48	0.10×0.13	95.37	320
LCD Plan Apo NIR 50×	378-829-5	t0.7	0.42	17.26	3.9	0.7	1.6	0.48	0.10×0.13	95.24	320
LCD Plan Apo NIR 100× 定制	378-752-5	t1.1	0.50	12.13	2	0.6	1.1	0.24	0.05×0.06	95.37	335
LCD Plan Apo NIR 100×	378-754-5	t0.7	0.50	11.76	2	0.6	1.1	0.24	0.05×0.06	95.24	335

t1.1 = 适用于1.1mm厚玻璃 │ t0.7 = 适用于0.7mm厚玻璃 │ 齐焦距离因玻璃厚度不同而异（95.37mm / 95.24mm）
LCD Plan Apo NIR 100×（t1.1）为定制品 │ 可根据指定的玻璃厚度、材质及折射率定制设计

LCD NIR HR

LCD Plan Apo NIR HR

明视场近红外校正物镜（玻璃厚度校正 / 高分辨力） · NIR Cover-Glass HR

无限远校正近红外校正玻璃厚度校正高分辨力

适用机型：VMU / FS70 │ 兼具玻璃厚度校正与高分辨力特性
该系列为三丰官网最新发布产品，详细参数请咨询三丰销售窗口

官网新品 — 详细参数待确认

该产品在三丰官网近红外物镜分类下列出，具体规格参数请参考三丰最新目录或联系当地销售代表获取。

参考信息

典型应用

• LCD薄膜和硅晶圆膜厚测量

• MEMS器件内部检查/分析及3D评估

• IC封装内部观察、晶圆接合空洞检测

• 红外光谱特性分析

• 飞秒激光应用

• YAG激光切割/修复/微加工

光谱透过特性

M Plan Apo NIR 系列

波长校正范围：480nm – 1800nm

适用激光：YAG基波（1064nm）、二次谐波（532nm）

M Plan Apo NIR B 系列

波长校正范围：420nm – 1064nm

高激光透过率型，YAG基波/二次谐波专用

系列选型对比

NIR — 标准型，兼顾观察与激光

NIR HR — 高NA高分辨，精密观察

NIR B — 超长WD，激光高透过率

LCD NIR — 透过玻璃观察/加工

LCD NIR HR — 玻璃校正+高分辨

齐焦距离：NIR/NIR HR/NIR B = 95mm

LCD NIR（t1.1）= 95.37mm（t0.7）= 95.24mm

激光输入上限参考（物镜端）

适用物镜：M Plan Apo NIR 系列 · 激光辐射沿光轴入射

使用波长	1064nm	532nm
脉冲激光上限（J/cm²）脉冲宽度 10ns	0.2	0.1
CW激光上限（kW/cm²）	0.5	0.25

⚠ 脉冲宽度缩短时，需按比例降低辐照能量密度（新脉宽/原脉宽的平方根）。例：脉宽缩短至1/4时，能量密度需降至约1/2。
安装激光器时请确保遵守所有安全规程，注意激光输出功率、光束能量密度及机组重量。如有疑问请咨询三丰。