吉时利(Keithley)源表

SMU(Source Measure Unit)源表是一类集成精密输出 + 精密测量的仪器,可输出电压/电流并同步测量电压/电流/电阻,实现 I-V 曲线、器件表征与自动化测试的一体化平台。 Tektronix 旗下吉时利(Keithley)源表以高精度、低噪声、宽动态范围与成熟自动化能力著称,可一体化完成精密输出与测量。
Description
产品型号 Keithley SMU
Keithley 2450 / 2602B / 2612B / 2636B 四款源表综合选型 — 索谱光电
K
KEITHLEY INSTRUMENTS
SourceMeter® SMU Selection Guide
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PRECISION SOURCE + MEASURE + AUTOMATION

Keithley 四款源表综合选型

2450 / 2602B / 2612B / 2636B SourceMeter® SMU

四款源表分别覆盖单通道通用测试、双通道低压大电流、双通道高压曲线族和双通道超低电流测量。选择时不应只比较最高电压或最小分辨率,而应同时考虑通道数、四象限功率边界、样品阻抗、脉冲条件、接线方式和自动化规模。

1–2 通道手动测试至双通道系统
±40–200 V低压大电流至高压测试
1–3 A DC按型号与工作区变化
0.1 fA2636B 最低显示分辨率
FOUR RECOMMENDED MODELS

四款型号的定位与核心差异

每款型号使用独立识别色,但整体页面保持统一的仪器官网风格。点击产品图、背面接口或四象限按钮可查看原图。

首台通用源表

Keithley 2450

单通道图形化通用型
首台通用源表
         Keithley 2450 正面产品图        
通道        1
电压        ±200 V
电流        ±1 A DC
分辨率        10 fA

适合实验室通用 I-V、电阻、功率与基础器件表征;5 英寸触摸屏便于手动操作、教学和快速换样。

5 英寸彩色触摸屏,单机操作直观
10 nA 最小电流量程,10 fA 分辨率
四象限源出与吸收,支持电压、电流、电阻和功率测试
典型对象
二极管、LED、传感器、材料样片、薄膜、教学实验与常规探针台测试
LIV / 大电流

Keithley 2602B

双通道低压大电流型
LIV / 大电流
         Keithley 2602B 正面产品图        
通道        2
电压        ±40 V
直流        ±3 A
脉冲        10 A

面向低压大电流、双通道同步与自动化系统,尤其适合 LED、激光二极管、LIV 和低压功率器件。

两路独立四象限 SMU,可同步驱动与测量
±3 A 直流、10 A 脉冲,适合低压大电流器件
TSP® 与 TSP-Link® 支持产线、ATE 和多仪器扩展
典型对象
LED/LD LIV、低压 MOSFET、BJT、光电器件、功率模组和自动化产线
高压 / 曲线族

Keithley 2612B

双通道高压均衡型
高压 / 曲线族
         Keithley 2612B 正面产品图        
通道        2
电压        ±200 V
直流        ±1.5 A
脉冲        10 A

兼顾双通道与 ±200 V 高压覆盖,适合晶体管曲线族、双端偏置、高压器件和模块级自动测试。

两路独立四象限 SMU,适合双端或多端器件
最高 ±200 V;约 20 V 工作区可达 ±1.5 A
内部脚本与多节点同步,兼顾研发与系统集成
典型对象
MOSFET/BJT 曲线族、高压二极管、双端器件、模块、可靠性与 ATE 测试
漏电 / 高阻

Keithley 2636B

双通道超低电流型
漏电 / 高阻
         Keithley 2636B 正面产品图        
通道        2
电压        ±200 V
量程        100 pA
分辨率        0.1 fA

专注超低电流、高阻和漏电测试,同时保留双通道与 ±200 V 偏置能力,适合微弱电学行为研究。

100 pA 最低电流量程,0.1 fA 显示分辨率
直接三同轴接口、主动 Guard 与高输入阻抗
适合 IDDQ、栅极泄漏、绝缘漏电与低功耗器件
典型对象
CMOS IDDQ、FET 栅极泄漏、绝缘材料、电容漏电、高阻与微纳器件
KEY SPECIFICATION COMPARISON

关键参数对比

手机端可横向滑动查看完整表格
型号通道最大电压最大直流电流最大脉冲最小电流量程最低显示分辨率前面板主要定位
24501±200 V±1 A10 nA10 fA5 英寸触摸屏通用实验室
2602B2±40 V±3 A10 A100 nA100 fA双行 VFD + 旋钮LIV / 大电流
2612B2±200 V±1.5 A*10 A*100 nA100 fA双行 VFD + 旋钮高压 / 曲线族
2636B2±200 V±1.5 A*10 A*100 pA0.1 fA双行 VFD + 旋钮漏电 / 高阻

* 2612B / 2636B 的 ±1.5 A 对应约 20 V 工作区;10 A 脉冲通常对应较低电压、限定脉宽和占空比。最大电压与最大电流不能在同一工作点同时输出,应依据四象限功率边界选型。

FOUR-QUADRANT OPERATING AREA

四象限工作范围对比

四象限图比单一“最大电压 / 最大电流”更能反映真实输出能力。点击图片可查看原始大图。

Keithley 2450        首台通用源表
       Keithley 2450 四象限工作范围      

适合实验室通用 I-V、电阻、功率与基础器件表征;5 英寸触摸屏便于手动操作、教学和快速换样。

Keithley 2602B        LIV / 大电流
       Keithley 2602B 四象限工作范围      

面向低压大电流、双通道同步与自动化系统,尤其适合 LED、激光二极管、LIV 和低压功率器件。

Keithley 2612B        高压 / 曲线族
       Keithley 2612B 四象限工作范围      

兼顾双通道与 ±200 V 高压覆盖,适合晶体管曲线族、双端偏置、高压器件和模块级自动测试。

Keithley 2636B        漏电 / 高阻
       Keithley 2636B 四象限工作范围      

专注超低电流、高阻和漏电测试,同时保留双通道与 ±200 V 偏置能力,适合微弱电学行为研究。

APPLICATION MATRIX

从测试任务反推型号

先确定通道数、主要电压和电流工作区,再判断是否需要脉冲、超低电流、三同轴接口或高吞吐量自动化。

常规实验室 I-V
材料、二极管、传感器、教学与人工换样:优先 2450
LIV / 大电流
LED、激光二极管、低压功率器件:优先 2602B
高压曲线族
双端器件、晶体管曲线族和模块:优先 2612B
漏电 / 高阻
IDDQ、栅极泄漏、绝缘和微纳器件:优先 2636B
SELECTION GUIDE

快速选型建议

测试需求

常规 I-V、材料与教学

推荐 2450

操作最直观,单通道覆盖面广,适合作为实验室首台通用源表。

测试需求

LED / 激光器 LIV 与低压大电流

推荐 2602B

双通道、3 A 直流和 10 A 脉冲更匹配光电器件及产线测试。

测试需求

曲线族、双端偏置与高压器件

推荐 2612B

双通道 ±200 V,兼顾高压、较强电流和自动化扩展。

测试需求

IDDQ、栅极泄漏和高阻材料

推荐 2636B

100 pA 量程、0.1 fA 分辨率及三同轴接口用于超低电流测量。

不要只看分辨率数字

超低电流测量还取决于三同轴线缆、Guard、夹具漏电、屏蔽、湿度、污染、积分时间和稳定等待;高电流与高压测试则需关注功率边界、脉冲宽度、占空比、散热及安全互锁。

SYSTEM INTEGRATION

接口、脚本与测试附件

源表只是测试链的一部分。探针台、线缆、夹具、互锁、开关矩阵和软件会直接影响可实现的性能与长期稳定性。

TSP® 与 TSP-Link®

2600B 系列可在仪器内部执行扫描、判断和数据处理,并通过 TSP-Link 扩展多节点同步系统。

Kelvin、三同轴与 Guard

常规精密测量使用四线 Kelvin;2636B 超低电流应用应采用低泄漏三同轴、Guard 和屏蔽夹具。

高压与大电流安全

配置安全互锁、绝缘防护、过流限制、合适线径与散热条件,并按实际四象限边界设置合规值。

OTHER KEITHLEY PRODUCT LINES

源表之外的半导体与超低电流测试平台

可进一步配置 4200A-SCS 参数分析仪、4210/4211 SMU 模块、6430 亚飞安源表、6487/6482 皮安表以及 6514/6517B 静电计等产品,覆盖半导体参数分析、超低电流、高阻和可靠性测试。

Keithley 其他产品线
CONFIGURATION

型号、线缆、夹具、探针台、互锁与自动化方式按测试任务配置

页面参数用于型号比较;正式采购与系统设计应根据具体样品、工作点、脉冲条件和安全要求核对厂家规格书。

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