SCANNING ELECTRON MICROSCOPES
FRIENDLY & FLEXIBLE · VARIABLE PRESSURE SEM
SU3800 / SU3900
日立扫描电子显微镜
兼顾清晰成像、简便操作与灵活扩展的钨灯丝扫描电镜。结合高低真空观察、自动化图像调整和多功能样品仓，从常规形貌分析到大型样品观察，为材料、电子及生命科学研究提供可靠的显微分析平台。
A FLEXIBLE PLATFORM FOR YOUR SAMPLES
从常规形貌
到大型样品观察
同系列的成像与自动化平台，提供两种样品仓及样品台规格。根据样品尺寸、重量与分析任务，选择适合的主机。
WHY SU3800 / SU3900
让高质量观察，更容易融入日常分析
围绕样品定位、图像调整和连续观察优化操作流程，减少重复调整，让使用者将更多精力放在样品本身。
自动调整，简化操作
支持自动灯丝饱和度调整、光束对准、聚焦及亮度对比度控制。自动启动功能将多项调整衔接，帮助快速进入观察状态。
IFT 智能灯丝技术
监视并控制灯丝状态，提供灯丝更换时间的参考信息，为长时间连续观察及大范围分析提供操作支持。
从大视野找到微观细节
SEM MAP 辅助样品位置导航。可结合选配相机导航系统及 Multi Zigzag 连续视野采集，在较大范围内定位、观察与拼接图像。
MODEL SELECTION
SU3800 与 SU3900，如何选择？
两款型号具有相同的主要成像指标。选择重点在于样品仓容量、样品台行程，以及实际样品的尺寸与重量。
VERSATILE ANALYTICAL PLATFORM
SU3800
常规样品 · 灵活分析适合材料形貌、颗粒、金属断口和电子零件等日常显微观察，兼顾操作便利性与多种探测功能的扩展。
样品台行程：X 0–100 mm · Y 0–50 mm · Z 5–65 mm。
LARGE CHAMBER, MORE POSSIBILITIES
SU3900
大型样品 · 更大行程多功能超大样品仓支持较大工件及不规则样品的观察，扩大样品选择范围，并为多种分析附件预留配置空间。
样品台行程：X 0–150 mm · Y 0–150 mm · Z 5–85 mm。
¹ WD = 10 mm。² SU3900 的 5 kg 最大承载适用于“无 TZR”条件；具体样品、夹具及运动范围需确认。
LARGE SPECIMEN CAPABILITY
为大型样品，提供更多观察空间
SU3900 可搭载直径 300 mm 的样品。结合大行程样品台、GUI 换样引导及可选配的仓内监视与导航功能，支持更灵活的样品观察。
图形化换样引导
通过界面提示选择样品台、设定并确认样品高度，辅助完成换样操作。
大范围样品定位
5 轴电机驱动。结合 R 轴的最大可观察范围，SU3800 / SU3900 分别为 Φ130 mm / Φ200 mm。
按工作流程配置附件
样品交换仓、红外 CCD 仓内监视、相机导航等为选配功能，可根据样品与工作效率要求组合。
DETECTION & IMAGING
从表面形貌，到成分衬度与低真空观察
选择不同的探测信号与观察模式，获得互补的样品信息；分析功能可随应用需求扩展。
二次电子成像
用于观察表面微观形貌与结构细节。高真空下，二次电子分辨率为 3.0 nm（30 kV）及 15.0 nm（1 kV），工作距离均为 5 mm。
背散射电子成像
高灵敏半导体探测器支持成分与形貌衬度。4 分割 + 1 单元设计可获得多方向信息；低真空分辨率为 4.0 nm（30 kV，WD 5 mm）。
低真空探测与 CL 信息
高灵敏度低真空探测器为不同样品提供更多观察方式，除形貌信息外，还可检测电子束激发产生的阴极荧光信号。
EDS / WDS、外部样品台及三维显示测量软件等按项目选配；实际探测与分析能力取决于附件、软件和样品条件。
APPLICATION GALLERY
面向材料、电子与生命科学的应用
覆盖金属、陶瓷、电子零件及生物组织等多种样品，满足不同观察尺度下的形貌与结构分析需求。
TECHNICAL SPECIFICATIONS
主要技术参数
| 参数项目 | SU3800 | SU3900 |
|---|---|---|
| 成像性能与电子光学系统 | ||
| 电子源 | 钨灯丝电子枪 | |
| 二次电子分辨率 / 30 kV | 3.0 nm（WD = 5 mm，高真空模式） | |
| 二次电子分辨率 / 1 kV | 15.0 nm（WD = 5 mm，高真空模式） | |
| 背散射电子分辨率 | 4.0 nm（30 kV，WD = 5 mm，低真空模式） | |
| 加速电压 | 0.3–30 kV | |
| 放大倍率 | ×5–×300,000（照片倍率） ×7–×800,000（实际显示倍率）³ | |
| 低真空设定范围 | 6–650 Pa | |
| 图像位移 | ±50 μm（WD = 10 mm） | |
| 物镜光阑 | 4 孔可动光阑 | |
| 检测系统 | 二次电子探测器、高灵敏半导体背散射电子探测器 | |
| 样品容量与样品台 | ||
| 最大样品直径 | 200 mm | 300 mm |
| 最大可观察范围 | Φ130 mm（R 并用） | Φ200 mm（R 并用） |
| 最大可观察高度 | 80 mm（WD = 10 mm） | 130 mm（WD = 10 mm） |
| 最大搭载重量 | 2 kg | 5 kg（无 TZR）² |
| 样品台 X 行程 | 0–100 mm | 0–150 mm |
| 样品台 Y 行程 | 0–50 mm | 0–150 mm |
| 样品台 Z 范围 | 5–65 mm | 5–85 mm |
| 样品台旋转 R | 360° 连续 | |
| 样品台倾斜 T | −20°–+90° | |
| 样品台驱动 | 5 轴电机驱动；实际运动范围受样品及附件限制 | |
| 分析与操作功能 | ||
| EDX 分析工作距离 | WD = 10 mm，T.O.A. = 35° | |
| 自动光轴调整 | 自动光束调整（AFS → ABA → AFC → ABCC）、自动光轴调整及光束亮度调整 | |
| 自动图像调整 | ABCC、AFC、ASF、AFS、ABA 及自动启动（HV-ON → ABCC → AFC） | |
| 操作辅助 | 光束旋转、动态聚焦、图像质量改善、点间/角度测量、文字输入、预设倍率、SEM MAP、光束标记 | |
| 可选配附件与软件 | UVD、红外 CCD、相机导航、样品交换仓、Multi Zigzag、Hitachi map 3D、EDS 集成等，按项目确认 | |
| 外部分析装置 | EDS / WDS 及外部功能样品台等，按应用需求选配 | |
承载条件：SU3900 的 5 kg 最大搭载重量适用于“无 TZR”条件；样品尺寸、重量和夹具可能限制样品台的实际运动范围。
倍率定义：照片倍率对应 127 × 95 mm 显示尺寸；实际显示倍率对应 509.8 × 286.7 mm（1,920 × 1,080 像素）显示尺寸。
SEM + EDS ANALYSIS
形貌观察与元素分析，组成完整工作流
按需配置能量色散 X 射线能谱仪（EDS），将微观结构与元素信息结合。SEM / EDS 一体化功能可衔接测试位置选择、条件设置、样品分析与报告生成。
配套能谱可按需求选择牛津 XPlore 系列。探测器规格、安装接口、几何条件以及软件集成方式需结合具体主机与能谱配置确认。
EDS 属于选配分析系统；能谱性能以所选型号资料为准。
