三摆杆式高性能气浮隔振平台

索谱光电三摆杆式高性能气浮隔振平台采用三线摆空气弹簧隔振系统与混合腔设计,支持自动充气、自动平衡与快速响应,可在垂直和水平方向实现约 1.0–1.5Hz 的低固有频率,并达到 VC-D 防震等级,适合高稳定性光学实验、精密测试及低频振动敏感环境。
Description
产品型号 SP-HAF系列
三摆杆式高性能气浮隔振平台 — 索谱光电
Three-Pendulum Air Floating Isolation Platform

三摆杆式高性能气浮隔振平台

三摆杆式高性能气浮隔振平台采用三线摆空气弹簧隔振系统与混合腔设计,支持自动充气、自动平衡与快速响应,可在垂直和水平方向实现约 1.0–1.5Hz 的低固有频率,并达到 VC-D 防震等级,单支撑隔离器负载900kg,适合高稳定性光学实验、精密测试及低频振动敏感环境。

三摆杆式空气弹簧
自动充气自动平衡
固有频率 1.0–1.5Hz
防震等级 VC-D
Product Image
f9890-三摆杆式气浮隔振平台.png
三线摆气浮隔振系统
采用对水平方向隔振效果更好的三线摆系统,混合腔设计进一步提升隔振性能,适合低频扰动明显、仪器灵敏度较高的实验环境。
自动充气与自动平衡
平台具备自动充气、自动平衡功能,响应时间短、平衡速度快,可降低人工调平频次,提高日常实验使用效率。
VC-D 防震等级
固有频率垂直约 1.0–1.5Hz、水平约 1.0–1.5Hz,配合稳定气源与隔振支撑,可满足更严苛的高稳定性实验需求。
高刚性台面与独立支撑
台面采用上下板、隔离杯和蜂窝芯板组合结构,独立式四支撑结构摆放灵活,整体刚性、稳定性和承载能力更高。

核心优势说明

更适合低频隔振
三摆杆式支撑对水平方向隔振更有优势,配合垂直方向气浮隔振,可降低外界地面振动对光路和精密测试的影响。
台面结构稳定
上面板采用 5–6mm 厚高导磁不锈钢,精密磨削并经亚光处理;下底板为 4–6mm 厚碳钢,内部防锈、表面喷黑塑。
蜂窝芯板低应力
蜂窝芯板可采用不锈钢、铝板、镀锌板等材料,内芯密度约 250kg/m³,粘结工艺减少焊接应力,质量轻、强度高、稳定性好。
隔离杯防护设计
台面下方配置隔离杯,可防止细小零部件掉入蜂窝芯板,同时保持台面干净并增强防粉尘、防水、防油能力。
单支撑高承载
单支撑隔离器负载可达 900kg,支撑脚横截面 245mm,适合大尺寸、高载荷、复杂仪器组合的实验平台搭建。
适配系统级实验室
适用于光学、电子、精密机械制造、航空航天、船舶、精密化工、无损检测等领域的关键精密实验设备。

产品参数

自动平衡自动充气、自动平衡,响应时间短,平衡速度快
固有频率垂直 1.0–1.5Hz;水平 1.0–1.5Hz,与负载和实际使用情况相关
防震等级VC-D
重复定位精度±0.05mm
静音气泵排气量 20L/min,排气压力 0.7MPa,运行噪声 50dB
隔振系统三摆杆系统,混合腔设计进一步提升隔振性能
表面粗糙度约 0.8–1.6μm
台面结构上下板、隔离杯和蜂窝状芯板组合结构
上面板5–6mm 厚高导磁不锈钢,精密磨削工艺,漫反射亚光处理
下面板4–6mm 厚碳钢,内部做防锈漆,表面喷黑塑处理
隔离杯每个孔下面均配置隔离杯,防止细小零部件掉入蜂窝芯板
蜂窝状芯板可选不锈钢、铝板、镀锌板等防腐材料,内芯密度约 250kg/m³
侧板内层碳钢板,外层为黑色皮革,美观实用,四角采用不锈钢板包角
平面度0.05mm / 600mm×600mm
台面孔距 / 孔径25mm×25mm 阵列,M6 国际公制螺纹
气浮支撑独立式四支撑结构,总高度约 800mm;大型平台可采用六支撑

规格型号

型号整体规格 (mm)台面厚度 (mm)台面自重 (kg)支撑脚横截面积 (mm)单支撑隔离器负载 (kg)备注
SP-HAF-0906900×600×80010065245900四支撑
SP-HAF-10081000×800×80010096245900四支撑
SP-HAF-12061200×600×80010086245900四支撑
SP-HAF-12081200×800×800100115245900四支撑
SP-HAF-12091200×900×800100130245900四支撑
SP-HAF-15081500×800×800100144245900四支撑
SP-HAF-15091500×900×800200189245900四支撑
SP-HAF-15101500×1000×800200210245900四支撑
SP-HAF-15121500×1200×800200252245900四支撑
SP-HAF-15151500×1500×800200315245900四支撑
SP-HAF-18101800×1000×800200252245900四支撑
SP-HAF-18121800×1200×800200302245900四支撑
SP-HAF-18151800×1500×800200378245900四支撑
SP-HAF-20102000×1000×800200280245900四支撑
SP-HAF-20122000×1200×800200336245900四支撑
SP-HAF-20152000×1500×800200420245900四支撑
SP-HAF-24122400×1200×800200403245900四支撑
SP-HAF-24152400×1500×800200504245900四支撑
SP-HAF-30123000×1200×800300576245900四支撑
SP-HAF-30153000×1500×800300720245900四支撑
SP-HAF-30203000×2000×800300840245900六支撑

平台附件

桌面型仪器架
立柱式结构,垂直扩展设备布置空间,不占用额外地面区域,适合与平台刚性连接集成。
桌面型仪器架
落地式仪器架
方形钢管焊接结构,表面静电喷涂处理,整体刚性强,承载稳定,适合大体积配套仪器。
落地式仪器架
铝型材仪器架
模块化铝型材结构,装配灵活,支持层数、高度与尺寸扩展,不影响平台隔振性能。
铝型材仪器架
光学平台暗室
高密度遮光围护结构,内部低反射黑化处理,适用于对杂散光控制要求较高的实验环境。
光学平台暗室

适用场景

高分辨显微成像
高稳定性光谱测试
激光干涉与精密光路
半导体与微纳检测