SP-HAF 三摆杆式高性能气浮隔振平台
强化水平方向隔振与高载荷精密实验平台
SP-HAF 系列采用三摆杆空气弹簧隔振系统和混合腔设计，支持自动充气、自动平衡与快速恢复工作高度。垂直和水平方向固有频率均约为 1.0–1.5 Hz，系统标称达到 VC-D 防震等级；单支撑隔离器负载可达 900 kg，适合高分辨成像、干涉、精密定位、半导体检测和大型复杂光路。
在普通气浮基础上强化水平方向隔振、承载与恢复能力
三摆杆结构通过摆动机构降低水平方向等效刚度，混合腔则兼顾空气弹簧的垂向隔振。两者配合自动平衡系统，用于对多方向低频振动更敏感的精密实验。
三摆杆水平隔振
通过摆杆机构降低水平方向固有频率，对侧向地面扰动和楼板振动更敏感的系统更有优势。
混合腔空气弹簧
空气腔和阻尼结构兼顾垂直隔振、承载与衰减，适合高质量台面和复杂仪器负载。
自动充气与快速平衡
载荷改变后自动补气或排气，重复定位精度约 ±0.05 mm，减少人工反复校平。
独立式高承载支撑
支撑脚横截面约 245 mm，单隔离器负载可达 900 kg，大尺寸平台可配置六支撑。
三摆杆、混合腔与自动平衡系统
高性能隔振依赖正确载荷、稳定气源和合理支撑布局。平台上设备总重量、重心位置、运动部件和线缆牵引力都会影响最终表现。
多方向低频隔振
自动平衡与静音气源
上下面板、隔离杯与低应力蜂窝芯板
高导磁不锈钢精密磨削
厚度约 5–6 mm，表面粗糙度约 0.8–1.6 μm，采用漫反射亚光处理。
M6 孔阵与内部防护
25 × 25 mm M6 公制螺纹阵列，每个孔下配置隔离杯，减少零件落入蜂窝芯。
低应力粘结复合结构
蜂窝芯可选不锈钢、铝板或镀锌板，密度约 250 kg/m³；下底板为 4–6 mm 碳钢。
主要技术参数
| 参数项目 | 规格说明 |
|---|---|
| 自动平衡 | 自动充气、自动平衡，响应时间短，平衡速度快 |
| 固有频率 | 垂直约 1.0–1.5 Hz；水平约 1.0–1.5 Hz，与负载和实际工况相关 |
| 防震等级 | 标称 VC-D；最终结果受安装环境、平台配置和现场振动影响 |
| 重复定位精度 | 约 ±0.05 mm |
| 静音气泵 | 标称排气量 20 L/min、排气压力 0.7 MPa、运行噪声约 50 dB |
| 隔振系统 | 三摆杆系统与混合腔空气弹簧设计 |
| 表面粗糙度 | 约 0.8–1.6 μm |
| 台面结构 | 上下面板、隔离杯与蜂窝状芯板组合结构 |
| 上面板 | 5–6 mm 厚高导磁不锈钢，精密磨削并进行漫反射亚光处理 |
| 下面板 | 4–6 mm 厚碳钢，内部防锈、表面喷黑塑处理 |
| 隔离杯 | 每个安装孔下配置隔离杯，减少细小零部件掉入蜂窝芯板 |
| 蜂窝状芯板 | 可选不锈钢、铝板或镀锌板等材料，内芯密度约 250 kg/m³ |
| 侧板 | 内层碳钢板，外层黑色皮革，四角采用不锈钢板包角 |
| 平面度 | 约 0.05 mm / 600 mm × 600 mm |
| 台面孔阵 | 25 × 25 mm 阵列，M6 国际公制螺纹 |
| 气浮支撑 | 独立式四支撑，总高度约 800 mm；大型平台可配置六支撑 |
规格型号
| 型号 | 整体规格 L × W × H（mm） | 台面厚度（mm） | 台面自重（kg） | 支撑脚横截面（mm） | 单隔离器负载（kg） | 备注 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| SP-HAF-0906 | 900×600×800 | 100 | 65 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-1008 | 1000×800×800 | 100 | 96 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-1206 | 1200×600×800 | 100 | 86 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-1208 | 1200×800×800 | 100 | 115 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-1209 | 1200×900×800 | 100 | 130 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-1508 | 1500×800×800 | 100 | 144 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-1509 | 1500×900×800 | 200 | 189 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-1510 | 1500×1000×800 | 200 | 210 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-1512 | 1500×1200×800 | 200 | 252 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-1515 | 1500×1500×800 | 200 | 315 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-1810 | 1800×1000×800 | 200 | 252 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-1812 | 1800×1200×800 | 200 | 302 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-1815 | 1800×1500×800 | 200 | 378 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-2010 | 2000×1000×800 | 200 | 280 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-2012 | 2000×1200×800 | 200 | 336 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-2015 | 2000×1500×800 | 200 | 420 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-2412 | 2400×1200×800 | 200 | 403 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-2415 | 2400×1500×800 | 200 | 504 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-3012 | 3000×1200×800 | 300 | 576 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-3015 | 3000×1500×800 | 300 | 720 | 245 | 900 | 四支撑 |
| SP-HAF-3020 | 3000×2000×800 | 300 | 840 | 245 | 900 | 六支撑 |
注：型号、重量和支撑配置为标准参考。超过 3000 × 1500 mm 的大型、超宽、异形拼接或特殊承载平台应根据载荷分布、运输和现场安装条件单独设计。
平台附件与系统扩展
附件应与台面尺寸、载荷重心、遮光要求和维护空间同步设计，避免附加结构影响气浮状态和调平范围。
桌面型仪器架
立柱式结构，与平台刚性连接，可按光源、电源、控制器和电子学设备的尺寸配置层板、孔位及整体跨度。
落地式仪器架
方形钢管焊接结构，整体承载稳定，适合体积较大、质量较高或希望与气浮台面相对独立安装的配套仪器。
铝型材仪器架
模块化铝型材结构，层数、高度与横向尺寸便于扩展，适合需要后期调整和重复改造的实验系统。
光学平台暗室
高密度遮光围护结构，内部可进行低反射黑化处理，支持维护门、光路开口、通风和整体高度定制。
面向多方向低频扰动敏感的高稳定性实验
SP-HAF 适用于普通气浮仍难满足水平隔振或高载荷要求的系统。VC-D 为系统目标等级，正式项目仍应结合现场振动频谱、台面载荷和安装条件进行确认。
常规低频隔振和自动调平
对水平方向隔振和极高承载没有特殊要求时，普通气浮平台更具成本优势。
强化水平隔振与高载荷能力
多方向低频扰动敏感、设备重、台面跨度大或目标达到 VC-D 时优先评估。
超低频建筑振动和动态扰动
交通、楼板共振、周期性机械设备或内部运动部件扰动明显时，应进行现场频谱测试。
平台尺寸、载荷分布、支撑数量、气源、阀组与附件按实验系统配置
正式选型前应确认搬运路线、地面承载、现场振动频谱、设备总重量、重心分布、运动部件、气源条件和未来扩展空间。
