Coherent AVIA NX 系列激光器 - 索谱光电

Nanosecond DPSS Laser

Coherent AVIA NX 系列紫外/绿光纳秒激光器

AVIA NX 系列面向半导体、先进封装、PCB/Flex、太阳能与精密微加工场景，采用紧凑一体化结构，提供 355 nm 紫外与 532 nm 绿光两大平台。系列覆盖 20 W 至 85 W 输出功率，兼顾高脉冲能量、稳定光束质量、较长维护周期与便捷系统集成。

355 nm / 532 nm

20 W – 85 W

单次至数百 kHz

PureUV™ / SoloBoard™

HALT / HASS

Product Image

Coherent AVIA NX 系列
主图预留区
建议替换为设备正视图或 3D 渲染图

Power Range

20–85 W

覆盖紫外与绿光多功率平台

Pulse Energy

>800 μJ

532-65 HPE 高能量配置

Beam Quality

TEM₀₀

M² <1.2 / <1.3，适合精密加工

Reliability

HALT / HASS

长维护周期与低停机风险

Architecture

紧凑一体化结构

将光学与电子架构集成到紧凑机头中，降低外围系统复杂度，便于集成到激光切割、钻孔、划线和自动化生产平台。

Wavelength Options

UV 与 Green 双平台

355 nm 平台适合 PCB/Flex、封装修整与太阳能划线；532 nm 平台适合铜、硅、陶瓷等材料钻孔、切割、开槽与精细加工。

Maintenance

PureUV™ 与 SoloBoard™

PureUV™ 主动清洁与 SoloBoard™ 单板控制接口可减少维护工作量，提升长期可靠性与现场使用便利性。

Integration

易于系统接入

支持 RS-232、Ethernet、USB 通讯接口，并通过紧凑机头尺寸、标准冷却与电源配置满足设备厂商集成需求。

UV Model Comparison

AVIA NX 355 nm 型号对比

参数	355-20	355-25	355-30	355-55
中心波长	354.7 nm	354.7 nm	354.7 nm	355 nm
输出功率	20 W	25 W	30 W	55 W
脉冲能量	200 μJ @ 100 kHz	250 μJ @ 100 kHz	250 μJ @ 120 kHz	367 μJ @ 150 kHz
重复频率	单次至 250 kHz	单次至 300 kHz	单次至 300 kHz	≤300 kHz
脉宽	<30 ns	<30 ns	<32 ns	官网页未单列

Green Model Comparison

AVIA NX 532 nm 型号对比

参数	532-36	532-45	532-65	532-85	532-65 HPE
中心波长	532 nm	532 nm	532 nm	532 nm	532 nm
输出功率	36 W	45 W	65 W	85 W	65 W
脉冲能量	327 μJ @ 110 kHz	346 μJ @ 130 kHz	433 μJ @ 150 kHz	531 μJ @ 160 kHz	813 μJ @ 80 kHz
重复频率	单次至 300 kHz	单次至 300 kHz	单次至 300 kHz	单次至 300 kHz	单次至 300 kHz
脉宽	<33 ns	<35 ns	<45 ns	<45 ns	<30 ns

Specifications

核心技术参数

空间模式	UV：TEM₀₀，M² <1.2；Green：TEM₀₀，M² <1.3	光束发散角	UV：<0.2 mrad；Green：<0.3 mrad
光束腰斑直径	3.50 ±0.35 mm（1/e²）	椭圆度	UV：圆度 >90%；Green：圆度 >85%
偏振特性	偏振比 >100:1；偏振方向垂直 ±3°	指向稳定性	<25 μrad/°C；长期固定频率 ±25 μrad / 8 h
能量稳定性	RMS <5%	功率稳定性	RMS <2%（2 s，8 h）
预热时间	冷启动 <45 min；热启动 <15 min	机头重量	UV：21.5 kg；Green：21.5–22.5 kg
通讯接口	RS-232 / Ethernet / USB	电源	100–240 VAC；典型功耗约 <500 W 至 <900 W（视型号而定）

Operating Range

工作环境

机头温度：+10 ~ +35°C

电源温度：+10 ~ +35°C

存储温度：-20 ~ +50°C

运输温度：-20 ~ +60°C

相对湿度：5 ~ 80%

冷却方式：冷却液进/出接口，适合设备化部署

Applications

典型应用

PCB / Flex 微孔钻孔

柔性材料切割

3D 封装制造

IC 封装修边

晶圆划线与分割

太阳能电池划线

铜加工

硅刻划开槽

陶瓷切割与微加工

Performance Placeholders

性能图预留区

UV 输出性能图

images/avia-nx-performance-1.png

Green 输出性能图

images/avia-nx-performance-2.png

空间模式 / 光束图

images/avia-nx-performance-3.png

Mechanical Layout

机械尺寸信息

激光头尺寸

长：535.7 mm
宽：192.0 mm
参考高度：173.0 mm
输出窗口可旋转
冷却液进/出接口

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电源尺寸

长：377.8 mm
宽：192.1 mm
高：82.6 mm
机脚高度参考：76.2 mm
前/顶/侧视图可放置

images/avia-nx-dimensions-2.png

接口与安装图

冷却接口
Purge Inlet
输出窗口 / 光路方向
安装基准尺寸
建议放接口示意图

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尺寸图扩展位

预留给更多机械图纸、接线图、系统集成图或外形尺寸 PDF 截图。

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