345 nm · 25/30 W · UV fs
紫外工业级
飞秒激光器
Monaco UV 是一款 345 nm 工业级紫外飞秒激光器，专为高精度、超低热影响区（HAZ）加工设计。基于成熟的 Monaco IR 光纤激光平台，通过严格的 HASS/HALT 可靠性验证，全面满足 24/7 全天候高产能制造环境的需求。
37.5 μJ
800 kHz 脉冲能量
30 W
最高平均功率
PulseEQ
脉冲按需输出
01
超低热影响区
345 nm 飞秒紫外输出适合薄膜、箔材和半导体晶圆的低 HAZ 精密加工。
02
集成 THG 方案
专有集成第三谐波级提供稳定长寿命 UV 输出，降低系统外围复杂度。
03
PulseEQ 控制
PulseEQ pulse-on-demand 可在平台与振镜轮廓切割中保持恒定脉冲间距。
04
工业可靠性
建立在 Monaco IR 工业平台上，并按 Coherent HASS/HALT 协议测试验证。
Specifications
型号对比与核心技术参数
Monaco 345-20-25 / 345-38-30
| 参数项目 | Monaco 345-20-25 | Monaco 345-38-30 |
|---|---|---|
| 中心波长 | 345 ±2 nm | 345 ±2 nm |
| 平均功率 | 25 W | 30 W |
| 脉冲能量 | 20 μJ（1.25 MHz） | 37.5 μJ（800 kHz） |
| 重复频率 | Single-shot to 4 MHz | |
| 脉宽 | ≤350 fs | ≤500 fs |
| 空间模式 | M² <1.3 | |
| Burst Mode | 3 / 5 脉冲（800 和 1000 kHz） | |
| PulseEQ | 最高 1 MHz 重复频率 | |
| 光束参数 | 发散角 ≤0.25 mrad（2θ）；输出光束直径 5.0 ±0.5 mm（D4σ）；圆度 ≥85% | |
| 偏振 / 稳定性 | 偏振比 >100:1，水平偏振；指向稳定性 ≤25 μrad/K；长期指向稳定性 ±25 μrad / 8 h；脉冲能量稳定性 <3% | |
| 预热时间 | 冷启动 ≤45 min；热启动 ≤15 min | 冷启动 ≤60 min；热启动 ≤15 min |
| 重量 / 功耗 | 57 kg；<500 W，48 VDC | 60 kg；<800 W，48 VDC |
| Energy Switching | <1 s；可选 110–240 VAC 电源 | |
Performance & Mechanical
典型性能与机械尺寸
Performance
功率与单脉冲能量
345-20-25 / 345-38-30 典型性能曲线
平均功率与单脉冲能量随重复频率变化。
Mechanical
Monaco 345-20-25 尺寸
959.7 × 360.2 × 180.5 mm，57 kg
出光高度 67.3 mm，前视、侧视与后视图可用于机械安装空间预留。
Mechanical
Monaco 345-38-30 尺寸
887.5 × 380.0 × 205.2 mm，60 kg
前视图宽度 358.3 mm，侧视主体长度 851.0 mm，适合高功率 UV 生产线集成。
Application
典型应用场景
面向 OLED 模组、半导体晶圆、薄膜箔材与触控传感器等高精度紫外飞秒加工场景。
OLED 模组与异形切割
适用于 OLED module and contour cutting，PulseEQ 有助于轮廓切割时保持脉冲间距稳定。
半导体晶圆切割
345 nm 紫外飞秒脉冲适合 semiconductor wafer cutting，兼顾低热影响和高精度边缘质量。
薄膜与箔材切割
用于 thin-film and foil cutting，适合低热影响区、高边缘质量与精细结构加工。
触控传感器与柔性材料
适用于 display touch sensor cutting 与 flex material processing 等显示与柔性电子场景。
Coherent Monaco UV 工业紫外飞秒激光器
345 nm · 25/30 W · UV fs · PulseEQ · Integrated THG
