Architecture
集成 THG 的工业 UV 平台
Monaco UV 基于 Monaco IR 工业光纤飞秒平台构建，第三谐波（THG）级集成在整机内，有利于获得稳定、长寿命的 UV 输出并简化整机集成。
Wavelength
345 nm 紫外精密加工优势
345 nm 波段对薄膜、金属箔、半导体晶圆与显示材料具有更适合的加工耦合特性，可在高精度切割时兼顾更低热影响和更干净边缘质量。
Pulse Control
Burst Mode 与 PulseEQ
支持在 800 kHz 与 1000 kHz 条件下 3/5 脉冲 Burst Mode，并支持 PulseEQ pulse-on-demand，有利于平台运动与振镜轮廓切割时维持稳定脉冲间距。
Applications
显示、晶圆与柔性材料加工
适用于 OLED 模组与异形轮廓切割、半导体晶圆切割、显示触控传感器切割、薄膜/箔材切割，以及柔性材料与精密电子部件微加工场景。
Model Comparison
型号对比
| 参数 | Monaco 345-20-25 | Monaco 345-38-30 | Monaco 345-25-50 |
|---|---|---|---|
| 中心波长 | 345 ±2 nm | 345 ±2 nm | 345 nm |
| 输出功率 | 25 W | 30 W | 50 W |
| 脉冲能量 | 20 μJ（1.25 MHz） | 37.5 μJ（800 kHz） | 25 μJ（最高 2 MHz） |
| 重复频率 | 单脉冲至 4 MHz | 单脉冲至 4 MHz | 最高 2 MHz（官网新闻公开） |
| 标准脉宽 | ≤350 fs | ≤500 fs | <400 fs |
| 脉宽调谐 | N/A | N/A | 支持可变脉宽调节（官网新闻描述） |
| 空间模式 | M² <1.3 | M² <1.3 | 官网未公开完整参数 |
| Burst Mode | 3 / 5（800 / 1000 kHz） | 3 / 5（800 / 1000 kHz） | 支持灵活 Seeder Burst Mode |
| PulseEQ | 支持，最高 1 MHz | 支持，最高 1 MHz | 支持 |
| 偏振比 | >100:1 | >100:1 | 官网未公开 |
| 机头重量 | 57 kg | 60 kg | 官网未公开 |
| 典型功耗 | <500 W，48 VDC | <800 W，48 VDC | 官网未公开 |
注：345-20-25 与 345-38-30 参数依据官方 datasheet；345-25-50 为 Coherent 2023 年官方新闻发布公开型号，部分参数未在当前公开 datasheet 中完整列出，因此在表中按“官网未公开”标注。
Specifications
核心技术参数
| 空间模式 | M² <1.3 | 光束发散角 | ≤0.25 mrad（2θ） |
| 输出光束直径 | 5.0 ±0.5 mm（D4s） | 光束圆度 | ≥85% |
| 偏振比 | >100:1 | 偏振方向 | 水平 |
| 指向稳定性 | ≤25 μrad/K | 长期指向稳定性 | ±25 μrad / 8 小时 |
| 脉冲能量稳定性 | <3%（rms, ±σ） | 能量切换时间 | <1 s |
| 预热时间 | 冷启动 ≤45 min；热启动 ≤15 min（30 W 机型冷启动 ≤60 min） | 供电与通讯 | 48 VDC；可选 110–240 VAC 电源；PulseEQ / Burst Mode / 工业平台集成友好 |
Operating Range
工作环境
激光头： +10 ~ +30°C
电源： -20 ~ +60°C
存储： 5 ~ 65°C
相对湿度： <90%，无冷凝
运输温度： -20 ~ +60°C
Applications
典型应用
OLED 模组切割
异形轮廓切割
半导体晶圆切割
薄膜与箔材切割
触控传感器切割
柔性材料加工
Typical Performance
性能图预留区
功率 / 单脉冲能量曲线
空间模式 / 光斑图
应用实拍 / 工艺效果图
Mechanical Layout
机械尺寸信息
激光头尺寸（345-20-25 公开数据）
长：959.7 mm
宽：360.2 mm
高：180.5 mm
出光高度：67.3 mm
补充机械信息
机头重量：57 kg / 60 kg
冷却接口：Coolant Supply / Return
前 / 侧 / 后视图：建议放入官方尺寸图
50 W 型号：公开完整机械图请以后续资料为准
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