Keithley 2636B 源表
双通道超低电流、高阻与漏电测试 SourceMeter®
Keithley 2636B 在单台仪器内集成两路彼此隔离的四象限 SMU，并在最低 100 pA 电流量程上提供 0.1 fA（100 aA）分辨率。直接三同轴接口、Guard 保护、超过 100 TΩ 的输入阻抗、±200 V 电压范围及 TSP® 自动化架构，使其特别适合 CMOS IDDQ、待机电流、FET 栅极泄漏、绝缘与电容漏电、低功耗器件以及微纳器件的双通道表征。
100 pA 量程、0.1 fA 分辨率与双通道高压能力集成
2636B 不是仅追求显示位数，而是通过低泄漏三同轴连接、Guard、精密量程、稳定的参数提交和内部脚本，将超低电流测量真正用于科研与生产测试。
0.1 fA 超低电流分辨率
最低 100 pA 量程的显示分辨率达到 100 aA，适合观察待机电流、栅介质泄漏和高阻样品中的微弱变化。
直接三同轴与主动 Guard
后面板直接提供低电流三同轴连接，配合 Guard、屏蔽和超过 100 TΩ 的输入阻抗，减少转接和绝缘泄漏误差。
TSP® 与 TSP-Link® 自动化
内部脚本减少 PC 总线往返；多台仪器可扩展至 32 个节点、最多 64 个独立 SMU 通道，并实现小于 0.5 μs 的同步。
面向漏电、IDDQ、栅极泄漏和高阻器件的双通道测量
通过合理的三同轴线缆、Guard、屏蔽箱、清洁夹具和等待时间，2636B 可在高压偏置下测量微弱电流，并与探针台、开关矩阵和生产处理系统组成自动测试平台。
CMOS IDDQ
检测待机电流异常、栅氧短路和潜在制造缺陷。
FET 栅极泄漏
一路控制栅极，另一路监测漏极或器件其他端口。
绝缘与电容漏电
高电容模式可用于部分电容、绝缘膜与介质漏电测试。
微纳器件与传感器
兼顾 ±200 V 偏置、双通道同步与超低电流响应。
推荐可测项目
典型测试对象
典型应用方向
2636B 的核心价值是将 0.1 fA 分辨率、双通道、±200 V、直接三同轴和自动化能力组合起来，而不是简单追求某一个极限参数。
外观、三同轴接口与四象限工作范围
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主要技术参数
| 参数项目 | Keithley 2636B 规格与说明 |
|---|---|
| 产品型号 | Keithley 2636B System SourceMeter® SMU |
| 仪器类型 | 双通道、彼此隔离的四象限超低电流源测量单元 |
| 通道数 | 2 个独立 SMU 通道 |
| 最低电流量程 | 100 pA；2636B 与 2635B 提供该量程 |
| 最低电流分辨率 | 100 aA，即 0.1 fA，位于 100 pA 量程 |
| 电压源 / 测量量程 | 200 mV、2 V、20 V、200 V；最低电压显示分辨率 100 nV |
| 直流功率边界 | 每通道约 30.3 W；典型区域为 100 mA @ 200 V 或 1.5 A @ 20 V |
| 最大直流输出电流 | 最高约 ±1.5 A / 通道，适用于 20 V 工作区及规定功率边界 |
| 最大脉冲电流 | 10 A / 通道，典型条件为 5 V、最长约 1 ms、最大约 2.2% 占空比 |
| 其他脉冲区域 | 典型支持 1 A @ 180 V、约 8.5 ms / 1%，以及 1 A @ 200 V、约 2.2 ms / 1% |
| 最小可编程脉宽 | 100 μs；编程分辨率 1 μs，典型准确度 ±5 μs，抖动约 2 μs |
| 输入阻抗 | 电流测量输入和 Sense HI 输入典型 >100 TΩ |
| 低电流接口 | 后面板直接三同轴连接，支持主动 Guard、远端 Sense 与低泄漏测试布线 |
| 高电容模式 | 支持最高约 50 μF 负载的高电容直流模式；100 nA 量程在该模式不可用 |
| 接触检查 | 支持 HI / Sense HI 与 LO / Sense LO 接触电阻检查 |
| 最高测量速度 | 内部触发、0.001 NPLC 时最高约 20,000 readings/s 写入缓冲区；实际随量程与设置变化 |
| 同步性能 | 固定量程且不改变极性时，单节点与多节点同步源变化典型 <0.5 μs |
| 内部脚本 | TSP® Test Script Processor，可执行扫描、判断、计算、流程控制和数据管理 |
| 多仪器扩展 | TSP-Link® 最多连接 32 个节点；使用双通道型号时最多构建 64 个独立 SMU 通道 |
| 安全互锁 | 启用 200 V 输出时需要外部互锁信号；夹具打开时应自动关闭高压输出 |
| 通信接口 | 10/100Base-T Ethernet / LXI、GPIB、RS-232、后置 USB 2.0 Device、前置 USB Host、数字 I/O、TSP-Link |
| 前面板 | 双行 VFD、键盘和导航旋钮，可显示源设置、限制、测量值和脚本信息 |
| 尺寸与重量 | 台式约 104 × 238 × 460 mm；重量约 5.50 kg |
| 产品定位 | 双通道超低电流、高阻与漏电自动化 SourceMeter 源表 |
| 典型应用 | CMOS IDDQ、待机电流、栅极泄漏、绝缘与电容漏电、微纳器件、低功耗器件和 ATE 测试 |
注：0.1 fA 是最低量程的显示分辨率，不等同于在任何环境下可直接获得同等级的不确定度。实际超低电流性能受线缆与夹具漏电、湿度、污染、屏蔽、Guard、零点校正、积分时间和稳定等待影响；直流及脉冲输出受四象限功率边界限制。
选型建议
双通道、±200 V 与超低电流同时需要
重点是 IDDQ、栅极泄漏、高阻和微弱电流，同时又需要双通道偏置或生产自动化。
通用高压或低压大电流为主
若主要做通用高压曲线族，可选 2612B；若重点是 3 A 直流 LIV，选择 2602B 更匹配。
三同轴、Guard、清洁、屏蔽与互锁
应使用低噪声三同轴线缆和低泄漏夹具，保持绝缘表面清洁干燥，并配置屏蔽箱、高压互锁和必要的过流保护模块。
三同轴线缆、低泄漏夹具、Guard、屏蔽箱、安全互锁与保护模块按应用配置
配置时应根据目标电流、最大电压、样品阻抗、湿度环境、稳定等待时间和自动化规模，确认线缆、夹具、探针台、开关矩阵及校准方案。
