Keithley 2612B 源表
双通道高压均衡型 SourceMeter® 源测量单元
Keithley 2612B 在单台仪器内集成两路彼此隔离的四象限 SMU。每通道电压源量程最高可达 ±200 V，在 20 V 工作区可提供最高约 ±1.5 A 直流输出，并在规定低压、脉宽和占空比条件下提供 10 A 脉冲。TSP® 内部脚本、TSP-Link® 多仪器同步和高速缓冲采集，使其适合晶体管曲线族、高压器件、双端偏置、模块测试与自动化产线。
双通道、±200 V、四象限和高速自动化兼顾
2612B 的优势不只是电压上限更高，而是两路高压 SMU 可以独立或同步工作，并将源、测量、判断、计算和触发流程直接放在仪器内部执行。
两路隔离四象限 SMU
两通道均可独立源出或吸收电压、电流和功率，适合栅极—漏极、基极—集电极或双端器件联动偏置。
±200 V 与 10 A 脉冲
覆盖 200 mV 至 200 V 电压量程；可在 20 V 区域达到 1.5 A 直流，并在规定条件下输出 10 A 脉冲。
TSP® 与 TSP-Link® 系统架构
内部脚本减少计算机总线往返；TSP-Link 可扩展至多台 SMU，并实现小于 0.5 μs 的通道间同步。
面向高压曲线族、双端偏置和模块级器件表征
2612B 可单机完成双通道 I-V 扫描，也可与探针台、开关矩阵、温控台、光学检测和自动上下料系统组成高吞吐量测试平台。
晶体管曲线族
一路扫描漏极或集电极，另一路步进栅极或基极偏置。
高压器件 I-V
用于二极管、晶体管、传感器和模块的正反向扫描与击穿前表征。
双通道同步偏置
独立设定源与合规限制，并同步执行触发、测量和数据处理。
脉冲与高速序列
通过短脉冲降低自热，用于瞬态工作点、应力和动态响应测试。
推荐可测项目
典型测试对象
典型应用方向
双通道和 ±200 V 范围使 2612B 更适合曲线族、双端偏置、高压模块与系统化测试；超低漏电测量则应比较 2636B。
外观、背面接口与四象限工作范围
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主要技术参数
| 参数项目 | Keithley 2612B 规格与说明 |
|---|---|
| 产品型号 | Keithley 2612B System SourceMeter® SMU |
| 仪器类型 | 双通道、彼此隔离的四象限源测量单元 |
| 通道数 | 2 个独立 SMU 通道 |
| 直流功率边界 | 每通道最高约 30.3 W；约 ±20 V 时可达 ±1.5 A，约 ±200 V 时电流约为 ±100 mA |
| 电压源 / 测量量程 | 200 mV、2 V、20 V、200 V |
| 最大直流输出电流 | 最高约 ±1.5 A / 通道，适用于 20 V 工作区及规定功率边界 |
| 最大脉冲电流 | 10 A / 通道，典型条件为 5 V、最大约 1 ms、最大约 2.2% 占空比 |
| 其他脉冲区域 | 典型支持 1 A @ 180 V、最长约 8.5 ms，以及 1 A @ 200 V、最长约 2.2 ms；以四象限边界为准 |
| 最小可编程脉宽 | 100 μs；实际达到规定稳定度所需脉宽取决于量程和负载 |
| 最小电流量程 | 100 nA |
| 最小显示分辨率 | 电流 100 fA；电压 100 nV（对应最低量程） |
| 分辨率 | 6½ 位源出与测量架构 |
| 源与测量功能 | 精密电压源、电流源、电压 / 电流 / 电阻 / 功率测量及电子负载功能 |
| 四线与接触检查 | 支持远端 Sense、四线 Kelvin 连接和 Contact Check 接触检查 |
| 高速测量 | 系列平台最高约 20,000 readings/s 写入缓冲区，实际速度随 NPLC、量程和功能变化 |
| 读数缓冲区 | 带时间戳和源设置时 >60,000 点；不带时 >140,000 点 |
| 双通道 / 多节点同步 | 固定量程条件下同步源变化典型 <0.5 μs |
| 内部脚本 | TSP® Test Script Processor，可在仪器内部执行扫描、判断、运算、流程和数据管理 |
| 多仪器扩展 | TSP-Link® 最多连接 32 个节点；采用双通道型号时可构建最高 64 个独立 SMU 通道 |
| 前面板 | 双行 VFD、键盘和导航旋钮，可显示源设置、限制值、测量值及用户信息 |
| 通信接口 | 10/100Base-T Ethernet / LXI、GPIB、RS-232、后置 USB 2.0 Device、前置 USB Host、数字 I/O、TSP-Link |
| 尺寸与重量 | 台式约 104 × 238 × 460 mm；重量约 5.50 kg |
| 产品定位 | 双通道高压均衡型自动化 SourceMeter 源表 |
| 典型应用 | 晶体管曲线族、高压 I-V、双端偏置、模块测试、半导体表征和 ATE 生产测试 |
注：±1.5 A 与 ±200 V 不能在同一工作点同时输出；直流和脉冲能力受四象限功率边界、脉宽、占空比、环境温度及负载条件限制，最终以厂家规格书和技术确认文件为准。
选型建议
双通道与高压覆盖同时需要
需要两路独立 SMU、±200 V、曲线族扫描、双端偏置或模块级自动测试。
低压大电流或超低漏电优先
重点是 3 A 直流低压 LIV 时选 2602B；重点是 100 pA 量程和 0.1 fA 分辨率时比较 2636B。
高压安全、互锁、屏蔽与 Kelvin 接线
高压测试应配置安全夹具与互锁，控制爬电距离和接触防护，并结合远端 Sense、屏蔽和合规限制保护样品。
高压夹具、Kelvin 线缆、安全互锁、探针台与自动化接口按应用配置
配置时应根据最大电压、电流与脉冲边界、通道同步方式、器件封装、开关矩阵和安全等级，确认测试线、夹具、屏蔽箱及系统附件。
